中芯国际购买的ASML光刻机顺利进厂,但并未非EUV光刻机

作为国内最大最先进的晶圆代工厂,中芯国际在疫情疫情期间依然没有停产,同时还在扩大14nm等先进工艺产能。据媒体报道称,3月4日,中芯国际从荷兰ASML进口的一台大型光刻机已顺利进入深圳厂区。

中芯国际表示,坪山海关一系列服务措施,保障了设备第一时间进入厂区完成安装进入生产。而这台光刻机将主要用于企业复工复产后的生产线扩容。生产线扩容后,全年预计可为企业增加10%左右的营收。

据官网介绍,中芯国际深圳厂区位于深圳市坪山区,一期200mm(8英寸)芯片代工厂可提供从0.35μm到90nm的晶圆制程服务。“深圳厂的成功扩产能够支持更多200mm产能需求,并满足日益增长的客户及市场的需求”。

由于相关报道并没有提及这次中芯国际购买的光刻机的具体型号,因此也引发了一些猜测。部分网友认为这台光刻机很可能是中芯国际之前向ASML订购的最先进的EUV光刻机。但是,实际上这台机器应该还是193nm波长的DUV系列光刻机。因为,中芯国际方面已经说了,这台机器是用于现有的生产线扩容。而中芯国际深圳厂区目前所提供的产品主要还是0.35μm到90nm。而EUV光刻机则主要是针对7nm及以下先进工艺的生产。中芯国际订购EUV光刻机也主要是用来进行先进工艺的试验和测试。

3月6日下午,中芯国际方面也向媒体证实,该光刻机属于常规设备导入,并非外界所关心的极紫外光刻机(EUV)。同时,该公司补充道:“EUV光刻机属重大事件,相关动态将由中芯国际官方发布。”

早在2018年5月,中芯国际就证实已向荷兰ASML订购了一台最新型的EUV光刻机,价值高达1.5亿美元,原计划在2019年初交付。但是由于美国方面的阻挠,ASML一直未能收到荷兰政府颁发新的许可证,这也导致了ASML无法向中芯国际交付EUV光刻机。

虽然先进的EUV光刻机进口受阻,不过并没有影响的中芯国际目前的研发和生产进展。

去年,中芯国际的14nm已经成功量产,并且在去年四季度14nm还获得了约为769万美元的营收。今年1月,据Digitimes报导,华为旗下海思半导体公司已经开始向中芯国际14nm工艺下单,将部分原本由台积电独家代工的14nm芯片转由中芯国际代工。

此外,继2月19日宣布采购美国泛林公司6亿美元设备之后,中芯国际日前又宣布了11亿美元(约合77亿元)的大单——将从美国应用材料、日本东京电子公司采购设备。而这也被外界认为,这是要进一步提升14nm工艺的产能。

根据中芯国际预计,在2020年底,14nm晶圆的产能将会是目前的3~5倍,最多能达到15000片/月。

另外,对于后续的先进工艺,在此前的财报会议上,中芯国际联席CEO梁孟松博士也首次公开了中芯国际后续的N +1、N +2工艺的情况。

梁孟松博士表示,中芯国际的N 1工艺和现有的14nm工艺相比,性能提升了20%,功耗降低了57%,逻辑面积缩小了63%,SoC面积减少了55%。从逻辑面积缩小的数据来看,应该是7nm工艺。梁孟松博士也表示,N +1代工艺在功耗及稳定性上跟7nm工艺非常相似,但性能要低一些(业界标准是提升35%),所以中芯国际的N +1工艺主要面向低功耗应用的。而在N +1之后,中芯国际还会有N +2,这两种工艺在功耗上表现差不多,区别在于性能及成本,N +2显然是面向高性能的,成本也会增加。

此外,梁孟松博士还表示,在当前的环境下,N +1、N +2代工艺都不会用EUV工艺,等到设备就绪之后,N +2之后的工艺才会转向EUV光刻工艺。这也意味着后续的7nm工艺,中芯国际无需EUV光刻机也能实现量产。

至于推出的时间,在此前的财报当中,梁孟松博士有提到会在2020年底开始试产,而真正的量产可能要等到2021年了。

评论

    匿名评论
  • 评论
人参与,条评论

热门新闻

数码好评排行